21世纪经济报道记者 张赛男 上海报道 

国产半导体设备研发按下“快进键”。

5月27日，中微公司（688012.SH）在临港基地召开2024年度暨2025年第一季度业绩说明会。数据显示，公司2024年实现营业收入90.65亿元，同比增长44.73%，保持了近四年营收年均增幅大于40%；归属于上市公司股东的扣非净利润约13.88亿元，同比增长16.51%。2025年一季度，公司业绩延续高增长态势。

中微公司董事长兼总经理尹志尧在业绩会上表示，到2035年，中微公司将在规模、产品竞争力和客户满意度上成为全球第一梯队的半导体设备公司。

值得关注的一项数据是，2024年，公司研发投入达24.52亿元，同比增长94.31%，占营业收入比例约27.05%。今年一季度，公司研发投入同比增长90.53%至6.87亿元。

高强度的研发投入推动产品进程大大缩短。尹志尧表示，“经过20年的努力，公司已经拥有非常强的研发团队。过去开发一款新设备需3年至5年，算上进入市场需要更长时间，现在只需要大约18个月就可以开发出一款新产品，最多半年到一年就可以实现量产。”

在随后的媒体交流中，尹志尧还就并购策略、竞争策略、外部政策变化的影响等热点问题作出回应。 

谈研发“方法论”

尹志尧表示，近年来中国设备行业技术水平不断提高，国产设备在产品性价比、售后服务、贴近客户等方面的优势逐渐显现，半导体设备国产化在进一步提速。作为全球最大的半导体消费市场，市场需求带动全球产能中心逐步向中国大陆转移，持续的产能转移带动了市场规模和技术水平的提高，也为设备行业的发展提供了机遇。

在此背景下，中微公司加大了研发投入和业务开拓力度。

目前，中微公司在研超20款新设备，包括新一代CCP高能等离子体刻蚀设备、ICP低能等离子体刻蚀设备、晶圆边缘刻蚀设备、LPCVD（低压化学气相沉积）及ALD（原子层沉积）薄膜设备、硅和锗硅外延EPI设备、新一代等离子体源的PECVD设备和电子束量检测设备等。同时，中微公司通过投资和成立子公司，布局了量检测设备板块。

尹志尧表示，“考虑到外部的一系列限制，中微公司大幅提升研发投入实则在短时间内‘补短板’，从而保证国内生产线能够顺利投产。”

而在此过程中，研发方法和人才质量的变化是关键。“现在开发一个新品和20年前完全不一样，以前可能每一个指令都要现写，但现在要做的是尽量把已有的东西组合起来，再进行新设计，这是研发加速的一个重要原因。第二，我们现在人才招聘的质量越来越高，更多一流人才愿意到中微来。”他说，“此外，我们和客户的合作也越发紧密，我们研发的新品可以得到快速验证。”

尹志尧还透露，“在研发支出的分配上，过去20年大部分的投资是在刻蚀设备上，约占公司研发的70%-75%，但最近几年会加大薄膜设备的研发力度上，期待未来薄膜设备的收入体量可以快速增长。”

根据规划，在今后5-10年，中微公司将从现在覆盖约30%集成电路高端设备市场提高到覆盖60%，包括等离子刻蚀设备中的高能CPP刻蚀、低能ICP刻蚀、晶圆边缘刻蚀、原子水平刻蚀设备；薄膜设备中的PECVD介质、ALD原子水平、LPCVD导体、EPI外延、PVD金属、MOCVD设备；检测设备中的光学检测和电子束检测设备；湿法设备中的化机抛光、镀铜设备。

“欢迎正常的自由竞争”

当前，全球半导体产业正迎来新一轮发展机遇，全球半导体设备市场规模仍将保持增长，而国内半导体设备行业的竞争也愈发激烈。

面对激烈的竞争环境，尹志尧表示，公司的策略是保证高质量发展，稳扎稳打、步步为营，然后慢慢扩大。“自由竞争是不可避免的，是工业发展的必然趋势。公司欢迎正常的自由竞争。”

他说，中微公司的策略是集中资源开发具有差异化、自主知识产权的高端设备产品，避免低端“内卷”、恶性竞争，根据自身能力承担社会责任。当然，对于可能出现的价格竞争，尹志尧认为要时刻做好思想准备，因此其强调，公司要做的是不断改进，提高设备输出量，缩小占地面积，降低成本，以此来保持竞争优势。

除了自身有机发展外，中微公司也在加速布局产业链上下游重点领域。自上市以来，中微公司已投资40家产业链公司。其中，公司参股投资的8家公司已经完成A股挂牌上市，包括中芯国际、天岳先进等。

公司还重点关注供应链方向，先后投资了苏州科玛、靖江先锋、成都超纯、苏州新美光、中欣晶圆等公司，取得良好的协同效应。截至目前，与全球超800家供应厂商建立了合作关系。

谈及各种外部政策的变化，尹志尧向21世纪经济报道记者表示，面对复杂多变的外部环境，中微公司站在先进制程工艺发展的最前沿，与国际领先的半导体客户公司同步前行。凭借强有力的研发团队和深厚的客户关系，开发出一个又一个成功的刻蚀设备和薄膜设备，快速进入市场，为集成电路和泛半导体微观器件的客户提供极具竞争力和高性价比的设备产品，并不断提高市场占有率。

他还表示，在供应链方面，近年来公司陆续开发了更多质量优异的供应商，并加强培育本土核心供应商，进一步提升关键零部件国产化率，从而建立更加自主可控的供应链。